Unit pompa vakum sekrup Roots untuk manufaktur semikonduktor

Unit pompa vakum sekrup Roots terdiri dari pompa vakum Roots dan pompa vakum sekrup, yang dihubungkan secara seri untuk mewujudkan fungsi pompa yang efisien, dan merupakan salah satu peralatan penting untuk produksi industri dan eksperimen penelitian ilmiah.

Deskripsi

Unit pompa vakum sekrup Roots menggabungkan keunggulan pompa Roots dan pompa sekrup, menawarkan solusi vakum yang bersih, efisien, dan bebas minyak untuk aplikasi industri dan laboratorium yang menuntut. Dengan desain segel celah dan tanpa minyak pelumas, pompa ini menjaga kemurnian tinggi dan kinerja luar biasa selama operasi.

Prinsip Kerja Unit Pompa Vakum Screw Roots

  • Pompa vakum sekrup (tahap awal):Berfungsi sebagai pompa pra-tahap, menyediakan laju pompa tinggi dan tekanan buang rendah. Kompresi mekanis melalui celah sekrup yang presisi memastikan operasi yang efisien, rendah kebisingan, dan rendah getaran.
  • Pompa vakum Roots (utama/perantara):Rotor ganda yang berputar secara sinkron mentransfer gas buang dari ruang hisap ke ruang buang. Penyegelan celah mencegah kontaminasi minyak, menjaga lingkungan vakum yang bersih.
  • Operasi seri:Kedua pompa beroperasi secara seri, dengan pompa sekrup meningkatkan tingkat vakum dan pompa Roots memastikan efisiensi pompa yang stabil dan berkelanjutan.

Keunggulan Kinerja

  1. Hemat energi:Perbandingan optimal antara kecepatan pompa dan tingkat vakum mengurangi konsumsi daya, melampaui sistem vakum tradisional dalam efisiensi energi.
  2. Efisiensi tinggi:Mencapai efisiensi pompa lebih dari 90%, memberikan tingkat vakum tinggi dengan penggunaan energi rendah untuk berbagai proses.
  3. Proteksi keamanan:Sistem kontrol canggih dengan fitur start/stop otomatis, perlindungan overload, overcurrent, dan pemutusan aliran air memastikan stabilitas jangka panjang.
  4. Desain kompak:Struktur tumpukan vertikal atau tangga meminimalkan ruang yang dibutuhkan, ideal untuk pabrik dan laboratorium dengan ruang terbatas.
  5. Konfigurasi fleksibel:Perbandingan kecepatan pompa yang dapat disesuaikan antara pompa (1:2 hingga 1:8) untuk menyesuaikan dengan berbagai kebutuhan kerja.
  6. Kinerja anti-korosi:Permukaan yang rentan korosi diolah atau terbuat dari bahan tahan korosi, cocok untuk mengekstraksi gas korosif dan beroperasi di lingkungan yang keras.

Bidang Aplikasi

  • Industri kimia:Ekstraksi pelarut organik volatil, gas, dan untuk penggunaan dalam reaktor vakum—luas digunakan dalam proses kimia dan farmasi.
  • Manufaktur semikonduktor:Mendukung proses deposisi vakum, pembersihan, dan pengikisan.
  • Industri makanan:Esensial untuk proses pengemasan makanan, pengeringan, dan pengeringan vakum.
  • Industri metalurgi:Mengekstraksi gas di tungku dan laboratorium metalurgi untuk menstabilkan proses peleburan.
  • Laboratorium & penelitian ilmiah:Ideal untuk eksperimen vakum dan pemulihan gas dalam lingkungan ilmiah.
  • Industri elektronik:Digunakan dalam pembuatan sirkuit terpadu, pelapisan vakum layar, dan proses manufaktur elektronik lainnya.